應(yīng)用領(lǐng)域
LCD顯示面板TFT 電路金屬線切割/ITO層切割、熱敏材料精密加工、半導(dǎo)體封裝(硅通孔TSV鉆孔)、光子晶體光纖(PCF)制備、生物醫(yī)學(xué)成像(光學(xué)相干斷層掃描OCT)、壓電薄膜極化、亞波長光柵刻蝕、量子點(diǎn)摻雜、碳基材料改性(石墨烯邊緣鈍化)、深紫外(DUV)光刻、光柵寫入(PCF)、精密光學(xué)元件加工。
名稱 | 參數(shù) |
波長 (nm) | 1064 , 532, 266 |
平均功率 @ 10kHz | > 0.6W @ 1064nm |
> 0.7W @ 532nm | |
> 0.1W @ 266nm | |
光束質(zhì)量 | M2 < 1.5 @ 266nm |
重復(fù)頻率 | 1kHz ~ 30kHz |
脈沖寬度 @10kHz | < 1 ns @ 1064nm, 532nm, 266nm |
光斑發(fā)散角 (全角) | < 1mrad |
光束直徑 (mm) @ 1/e2 @10kHz | < 3mm @ 1064nm |
< 2mm @ 532nm, 266nm | |
能量穩(wěn)定性(RMS, over 8 hours) | <3% |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |